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納米薄膜鍍膜機研制成功

2003-07-14 00:00:00 來源：全球紡織網(wǎng)

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　　湖南長沙索普測控技術(shù)有限公司自行研制開發(fā)成功離子束轟擊濺射薄膜淀積設備(簡稱納米薄膜鍍膜機),該設備是采用多離子束轟擊（或共轟擊）靶材以動能轉(zhuǎn)換搬遷靶材原子新技術(shù)，將靶材原子逸出來并以納米級晶粒尺寸的粒子有序淀積形成厚度為幾納米至幾微米的納米粒子薄膜。獲得大面積（Φ250mm）非均勻性為±2% ~ ±5%的致密、平整光潔、無污染、內(nèi)應力小、幾乎無缺陷的優(yōu)質(zhì)薄膜。廣泛用于薄膜材料科學研究、微電子機械二維、三維加工技術(shù)研究和各種微電子器件的開發(fā)、生產(chǎn)和應用。它與真空蒸發(fā)、等離子體濺射（直流、高頻磁控濺射）等設備相比具有獨特的優(yōu)點，是當前和未來獲得高質(zhì)量的單質(zhì)、合金、絕緣介質(zhì)的單層和多層薄膜的最有前途的薄膜淀積設備。目前，該設備在航天、電子、光學、信息、集成電路、教育、科研等領(lǐng)域發(fā)揮積極作用。

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