勻膠機(jī) 甩膠機(jī) 旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī) 旋轉(zhuǎn)涂層機(jī) 基于中科院技術(shù) KW-4A系列

kw系列勻膠機(jī)

英文叫spincoater或者spinprocessor，又稱甩膠機(jī)、勻膠臺(tái)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī)。

kw系列勻膠機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ito導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動(dòng)迅速等優(yōu)點(diǎn)，并能保證半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配無油真空泵一起使用。

 基于中科院微電子所技術(shù)升級(jí)改造

目前型號(hào)有kw-4a型，kw-5型與新型號(hào)kw-4b型。

產(chǎn)品主要特點(diǎn)：

1、開關(guān)電流調(diào)速，穩(wěn)定性能更好，轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)以數(shù)字顯示為準(zhǔn)。

2、轉(zhuǎn)速在500～8000轉(zhuǎn)／分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定。

3、采用雙轉(zhuǎn)速。在啟動(dòng)之后，先以低速運(yùn)轉(zhuǎn)，使膠攤開，然后自動(dòng)轉(zhuǎn)換到高速運(yùn)轉(zhuǎn)。兩種轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時(shí)間分別可調(diào)，時(shí)間分別控制在1～18秒和3秒～1分鐘。

4、具有定時(shí)功能。

5、測(cè)速采用光電的辦法，產(chǎn)生光電脈沖，由晶體分頻測(cè)速準(zhǔn)確性高。

6、”吸片”采用電磁閥控制氣路，一個(gè)氣泵可同時(shí)帶幾臺(tái)勻膠機(jī)工作，適合流水線的工藝，提高了效率。

7、在安裝結(jié)構(gòu)上，采取了減振措施，保證了在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)噪音低。

kw-4a型勻膠機(jī)

1、調(diào)速范圍和勻膠時(shí)間

ⅰ檔 調(diào)速范圍：50-9000轉(zhuǎn)／分  ⅰ檔 勻膠時(shí)間：0-999秒

ⅱ檔 調(diào)速范圍：50-9000轉(zhuǎn)／分  ⅱ檔 勻膠時(shí)間：0-999秒

2、適用：φ5-φ120mm硅片及其它材料等勻膠。

3、led數(shù)字顯示，轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度：±0.5％，膠的均勻性：±1％。

4、電機(jī)功率：40w，單相110-240v供電

5、真空泵抽氣速率≥60升／分

6、體積小，重量輕，操作簡(jiǎn)便

7、kw-4a型勻膠機(jī)新增功能：1.按鍵互鎖防止飛片。2.面板控制泵的開關(guān)。3.帶倒計(jì)時(shí)顯示功能

儀器尺寸：210×220×160mm

**型kw-4b型(kw-4a型升級(jí)版)勻膠機(jī)

1、調(diào)速范圍和勻膠時(shí)間

ⅰ檔 調(diào)速范圍：50-9000轉(zhuǎn)／分  ⅰ檔 勻膠時(shí)間：0-999秒

ⅱ檔 調(diào)速范圍：50-9000轉(zhuǎn)／分  ⅱ檔 勻膠時(shí)間：0-999秒

2、適用：φ5-φ100mm硅片及其它材料等勻膠。

3、雙led數(shù)字顯示，帶倒計(jì)時(shí)顯示功能，采用閉環(huán)調(diào)節(jié)方式，轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度：±0.5％，膠的均勻性：±1％。

4、單按鍵控制電機(jī)啟動(dòng)，暫停，復(fù)位，單片機(jī)延時(shí)控制電磁閥啟動(dòng)與停止。

5、電機(jī)功率：40w，單相220v供電

6、真空泵抽氣速率≥60升／分

7、機(jī)身采用不銹鋼材質(zhì)，體積小，重量輕，操作簡(jiǎn)便

儀器尺寸：210×220×160mm

kw-5型勻膠機(jī)

1、調(diào)速范圍和勻膠時(shí)間

ⅰ檔 調(diào)速范圍：500-1000轉(zhuǎn)／分  ⅰ檔 勻膠時(shí)間：2-18秒

ⅱ檔 調(diào)速范圍：1000-5000轉(zhuǎn)／分  ⅱ檔 勻膠時(shí)間：3-60秒

2、適用：φ100-φ200mm（4”～8”）硅片及其它材料等勻膠。

3、led數(shù)字顯示，轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度：±1％，膠的均勻性：±5％。

4、電機(jī)功率：180w，三相380v供電

5、真空泵抽氣速率60升／分

6、設(shè)備尺寸：500×500×460mm